最新資訊
- 1 高純度石墨坩堝的應用領域
- 2 高純度石墨坩堝的特性
- 3 高純度石墨坩堝是一種由高純度天然石墨制成的坩堝
- 4 什么是高純度石墨坩堝
- 5 黃金熔煉必備：高純石墨坩堝的優(yōu)點
- 6 高純石墨熔金坩堝和普通石墨坩堝的應用領域差異
- 7 高純石墨熔金坩堝和普通石墨坩堝的性能特點差異
- 8 高純石墨熔金坩堝和普通石墨坩堝的材料純度差異
- 9 高純石墨坩堝與普通石墨坩堝的四大區(qū)別
- 10 高純石墨坩堝的“壽命密碼”
- 11 石墨坩堝“延年益壽”
- 12 高純石墨坩堝，石墨坩堝，高精密石墨坩堝，石墨坩堝加工，石墨匣缽坩堝，石墨坩堝加工廠，精密石墨坩堝，高純石墨坩堝加工，石墨坩堝生產廠家，高純石墨坩堝生產廠家
用于真空爐石墨部件的防護方法
發(fā)布作者：jcadmin 發(fā)布時間：2024年04月03日
用于真空爐石墨部件的防護辦法
本發(fā)明觸及一種用于真空爐石墨部件的防護辦法，該防護辦法包括:
1)對真空爐石墨部件進行拋光打磨,使真空爐石墨部件的表面粗糙度抵達0.5mm以下；
2)將拋光打磨后的真空爐石墨部件放入CVD爐內；
3)設定CVD爐內的溫度和壓力，向CVD爐內通入甲烷和氮氣或許通入三氯化硼，氨氣和惰性氣體，畢竟在石墨部件表面堆積一層熱解石墨涂層或熱解氮化硼涂層。
本發(fā)明經(jīng)過在真空爐石墨部件表面涂覆一層熱解石墨或熱解氮化硼涂層，一方面可以避免石墨粉塵蒸發(fā)出來污染反響腔室，然后行進產品的純凈度；另一方面可以維護真空爐石墨部件，延伸真空爐石墨部件的使用壽命，下降企業(yè)本錢。
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使用真空燒結爐石墨件的必備技巧